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粒子束发生器

申请号: CN03813914
申请日: 20030616
公开(公告)号: CN1663013A
公开(公告)日: 20050831
IPC分类号: H01J37/26;H01J37/317
主分类号: H01J37/26
申请(专利权)人: NFAB有限公司
发明人: 德里克·安托尼·伊斯特汉
优先权号: GB 02137727;GB 02198182;GB 03002656;GB 03025913;GB
优先权日: 20080102
地区: 英国;GB
申请人地址: 英国登比郡
代理人: 钟强;谷惠敏
专利代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
电子源是真空中的纳米尖端,如近场显微镜方法 中所使用的。离子源是相似的真空中的纳米尖端,其提供有如 液体金属离子源中的液体金属(镓)。通过使尖端位于孔隙极板 的中心并且向尖端施加适当的电压,从该纳米尺寸的尖端提取 电子或者离子。该电子(离子)通过该极板,并且在使用另外的 微米级(或者纳米级)圆柱形透镜聚焦之前,使用纳米级/微米级 加速镜筒将该电子(离子)加速至数KeV。最终的元件是像差校 正的微型(或者次微型)单透镜,其可以将粒子束聚焦在距离设 备末端几毫米的位置处。

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