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具有倾斜视角的检测系统

申请号: CN03823096
申请日: 20030908
公开(公告)号: CN1685219A
公开(公告)日: 20051019
IPC分类号: G01N21/88;G01N21/95
主分类号: G01N21/88
申请(专利权)人: 应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司
发明人: 都伦·寇恩葛特;斌央米·可恩;艾麦夏·捷塔
优先权号: US 60/415,082
优先权日: 20091118
地区: 以色列;IL
申请人地址: 以色列里欧宝特
代理人: 寿宁
专利代理机构: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
沿倾斜于一个表面的视角对该表面的一个区域 成像的装置包含一个远焦光学中继装置(192),其用来通过汇聚 该区域沿一个朝向视角的光轴方向的光射线来形成该区域倾 斜的初始影像。一倾斜校正单元(194)用于校正初始影像的倾 斜,以便形成一个充分不失真的中间影像。一放大模块(198) 被连接以将该中间影像聚焦到一影像检测器上。

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