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控制静电透镜的方法和离子注入装置

申请号: CN200310123947
申请日: 20001111
公开(公告)号: CN1510696A
公开(公告)日: 20040707
IPC分类号: G21K1/08;H01J37/317;H01L21/265
主分类号: G21K1/08
申请(专利权)人: 日新电机株式会社
发明人: 岩泽康司
优先权号: JP 322510/1999
优先权日: 20060517
地区: 日本;JP
申请人地址: 日本京都府京都市
代理人: 陈霁
专利代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
离子注入装置处理充当带电粒子束的离子束,并 具有加速腔8,加速腔8含有用于会聚或发散离子束的静电透 镜。完成对静电透镜的控制如下。通过单个法拉第杯46接受 扫描离子束4,测量离子束4的束数量I(n)和束宽度Wd(p)。 相对规定值,计算束数量和束宽度的估量值。对这些估量值分 配权重,计算一元化估量值。控制由加速腔8施加于静电透镜 上的聚焦电压Vf,从而提高一元化估量值。波形整形控制器 50和束控制器54构成完成该控制的装置。

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