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脉冲气体激光器的预电离装置

申请号: CN200410009811
申请日: 20041118
公开(公告)号: CN1780073A
公开(公告)日: 20060531
IPC分类号: H01S3/03;H01S3/02
主分类号: H01S3/03
申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
发明人: 柯常军;吴谨;谭荣清;万重怡;刘世明;张阔海
优先权号: 暂未提供
优先权日: 20080702
地区: 北京;11
申请人地址: 100080北京市海淀区北四环西路19号
代理人: 周国城
专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
本发明脉冲气体激光器的预电离装置,涉及气体 激光器技术,适用于高重复频率脉冲气体激光器的预电离装 置。本发明中表面预电离阵列位于主电极阴极一侧或两侧。该 阴极同时也是预电离阵列电极对中的一个公共电极,预电离阵 列电极对的另一个电极由多个相同的窄金属片组成。该金属片 均匀敷在绝缘介质板上,绝缘介质板另一侧与主电极阴极侧面 紧密相连。每个金属片与公共阴极形成电极对,当高压脉冲加 在该电极对时,通过绝缘介质板表面形成多通道滑闪放电,产 生高效的紫外光,为主放电空间提供丰富的初始电子。绝缘介 质板还有均匀气流和减少气流损失的作用。这种结构有利于更 高效地产生激光和延长气体的使用寿命,有较高的实用价值。

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