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测定激光束光斑特性的方法和设备

申请号: CN200510004527
申请日: 20000913
公开(公告)号: CN1641326A
公开(公告)日: 20050720
IPC分类号: G01J1/00;G01C1/00
主分类号: G01J1/00
申请(专利权)人: 维思克斯公司
发明人: 金曼·伊;特兰斯·N.·克拉彭
优先权号: US 09/395,809
优先权日: 20090408
地区: 美国;US
申请人地址: 美国加利福尼亚
代理人: 李春晖
专利代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
一种测定激光束光斑(20)尺寸的方法,包括:使 激光束(18)沿扫过参考刀口(30)的路径扫描,该参考刀口有一光 电检测器(40)位于其后;和测量光电检测器(40)在扫描期间的输 出信号,该输出信号与扫描期间入射光电检测器(40)的激光束 光斑(20)面积对应。

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