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气体分配器和包括气体分配器的设备

申请号: CN200510082860
申请日: 20050711
公开(公告)号: CN1719965A
公开(公告)日: 20060111
IPC分类号: H05H1/24
主分类号: H05H1/24
申请(专利权)人: 周星工程股份有限公司
发明人: 康豪哲
优先权号: KR 10-2004-0053641
优先权日: 20100915
地区: 韩国;KR
申请人地址: 韩国京畿道
代理人: 王允方
专利代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
一种用于一等离子设备的气体分配器,其包括: 一具有复数个注入孔的机体,所述机体相对于一中心表面被划 分成一下部部分和一上部部分;和一连接到所述下部部分的机 体支撑单元。

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