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一种微型电容层析成象传感器

申请号: CN200510093326
申请日: 20050825
公开(公告)号: CN1920545A
公开(公告)日: 20070228
IPC分类号: G01N27/00;H05K9/00
主分类号: G01N27/00
申请(专利权)人: 中国科学院工程热物理研究所
发明人: 刘石;李惊涛;董向元;赵树华
优先权号: 暂未提供
优先权日: 20080820
地区: 北京;11
申请人地址: 100080北京市海淀区北四环西路11号
代理人: 周国城
专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
一种电容层析成象微型传感器,主要由测量电 极、隔离层、 端屏蔽和屏蔽罩组成。测量电极等间隔或不等间隔地排列,相 邻电极之间设置非常细微的绝缘隔离层。多个测量电极形成毛 细管的周壁,组合成精密的流动或传热通道。此环形通道即作 为ECT传感器,也作为测量对象的流动管道,具有所需的传 热和流动特性,如常规金属管壁所具有的热阻和摩擦系数等。 作为可选设置,测量电极两端可设有端屏蔽,也可有一圆筒形 屏蔽罩将整个传感器包围于内,端屏蔽和屏蔽罩接地保持零电 势。该微型传感器可以在不干扰测量对象流动和传热,不改变 测量对象热力特性的前提下,满足微尺度下两相流流动参数测 量的要求,例如能够测量微米级的液膜厚度。

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