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制造用于平板显示器件的薄膜晶体管的方法

申请号: CN200610172285
申请日: 20061230
公开(公告)号: CN101097371B
公开(公告)日: 20130710
IPC分类号: G02F1/1362;G02F1/136;G02F1/133;G03F7/20;H01L21/027
主分类号: G02F1/1362
申请(专利权)人: 乐金显示有限公司
发明人: 朴相旭
优先权号: KR 10-2006-0059975
优先权日: 20130710
地区: 韩国;KR
申请人地址: 韩国首尔
代理人: 李辉;吕俊刚
专利代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司 11127
本发明公开了一种制造用于平板显示器件的薄膜晶体管的方法。在该方法中,利用第一掩模构图出栅极,并且利用第二掩模形成有源图案和光刻胶图案。基于预定宽度的蚀刻阻体对所述光刻胶图案进行灰化,对位于经灰化光刻胶图案下的绝缘层进行构图,以形成所述蚀刻阻体。在该制造方法中,蚀刻阻体可以作为钝化层,并形成在薄膜晶体管部分的有源层上。

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