首页> 专利搜索> 反射式空间光调节器

反射式空间光调节器

申请号: CN200710128466
申请日: 20030530
公开(公告)号: CN101093282B
公开(公告)日: 20100602
IPC分类号: G02B26/08
主分类号: G02B26/08
申请(专利权)人: 明锐有限公司
发明人: 晓和·X·潘;杨晓;陈东敏
优先权号: US 60/390,389;US 10/378,041
优先权日: 20100602
地区: 美国;US
申请人地址: 美国加利福尼亚州
代理人: 柳春雷
专利代理机构: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
一种包括微镜阵列的反射式空间光调节器的制造。在一个实施例中,微镜阵列是通过仅使用两个主要蚀刻步骤由单晶材料的衬底制造而成的。第一步蚀刻在材料的第一侧中形成空穴。第二步蚀刻形成支持柱、垂直铰链和镜板。在第一和第二步蚀刻之间,可以将衬底压焊到寻址和控制电路上。

免责声明:搜企信息来源于网络,搜企网不对内容的真实性、准确性和合法性负责,请用户慎重选择使用该信息。搜企网作为信息获取平台不参与用户间因交易而产生的法律纠纷,纠纷由您自行协商解决。

友情提醒:由于网络信息更新速度快、来源较多,当您在使用搜企所提供的信息时,企业的信息可能已经发生变更,请在使用搜企提供的信息前,慎重核实,搜企不做任何形式的保证和担保。

知识产权声明:如网站显示的任何信息侵犯您的知识产权,请您尽快联系搜企网工作人员处理,搜企网保护您合法的知识产权!

联系方式:service#soqi.com(#=@)是处理侵权投诉的专用邮箱,在您的合法权益收到侵害时,欢迎您向该邮箱发送邮件,我们会在3个工作日内给您答复,感谢您对搜企网的关注与支持!