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超声波探头

申请号: CN200710139781
申请日: 20030718
公开(公告)号: CN100581480C
公开(公告)日: 20100120
IPC分类号: A61B8/00;B06B1/02;B06B1/06;G01N29/24;H01L41/22
主分类号: A61B8/00
申请(专利权)人: 阿洛卡株式会社
发明人: 佐藤正平
优先权号: P 2002-210891;P 2003-169658;P 2003-169659
优先权日: 20100120
地区: 日本;JP
申请人地址: 日本东京都三鹰市牟礼6丁目22番1号181-8622
代理人: 程 伟
专利代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
本发明的用于生物体的超声波诊断装置的超声波探头具有由多个 积层型振动元件构成的振子阵列。通过跨过邻接的两个振动元件,形 成特定结构(对置结构)。在各振动元件中,接地用第一垂直电极层与顶 面电极层和内部电极层连接,信号用第二垂直电极层与底面电极层和 内部电极层连接。当形成特定结构时,反复进行在积层体上形成槽和 填充该槽等的工序。最终,通过形成多个分离槽,将积层体分割为多 个振动元件。另一方面,沿水平方向对各振动元件进行复合处理。该 复合处理可在特定结构的形成之前、形成之中和形成之后的任何阶段 进行。

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